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东莞市凯丰仪器科技有限公司
广范围检出器只要一次测量表面粗糙度、轮廓形状，就能自动实现评价、分析到打印功能，提高作业效率。
另外，DX3系列因为作为省空间设计，能有效
利用测量室。
装有高精度广泛围检出器
测量范围 Z轴方向 5mm范围（分解能：80nm）～0.05mm范围（分解能：0.8nm）
指示精度 Z轴方向±2.5+︱2H︱/100μm 检出器的测量范围：±2.5mm
■装载有新型线形马达驱动部（专利申请中）
能达到世界最高水平的测量速度和低振动，实现更加稳定的高倍率测量。
而且，国为是构造简单的非接触式驱动，所以能长期稳定的使用
■使生产性大幅度提高的高速测量
粗糙度测量 最大3mm/s, 轮廓测量 最大20mm/s，移动速度最大60mm/s
测量效率 最大提高10倍（本公司相比）
項目 / 型式 | SURFCOM 2000DX3/SD3 | ||||||||||
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量測範圍 | Z軸（縱方向） | 50mm/标准吊臂，10mm/2倍吊臂 | |||||||||
X軸（橫方向） | 100mm | 200mm | |||||||||
精度 | Z軸指示精度 | ±(2.5+|2H|/100)μm H:測量高度(mm) | |||||||||
測量解析度 | 0.8nm/0.5mm測量範圍,3.2nm/0.2mm測量範圍,8nm/0.5mm測量範圍, 16nm/1mm測量範圍,32nm/2mm測量範圍,80nm/5mm測量範圍 | ||||||||||
X軸指示精度 | ±（1.0+1L/100）μm (L:测量长度 mm) | ||||||||||
測量解析度 | 0.016μm | ||||||||||
真直度精度 | (0.05+1.0L/1000)μm L:量測長度(mm) | ||||||||||
感應方式 | Z軸（縱方向）:差动变压器 X軸（橫方向）：Moire光柵尺 | ||||||||||
速度 | 立柱上下速度(Z軸) | 3~10mm/s | |||||||||
速度(X軸) | 测量速度：0.03~20mm/s,移动速度：最大60mm/s | ||||||||||
检出器 | 测针、测量力 | 交换式 | |||||||||
测针半径、材质 | 2μmR,（60°圆锥鑽石材質）0.75mN,25μmR (24°圆锥超硬)5mN 各1支标准付属品 | ||||||||||
移动范围 | 驱动部行程 | 100mm | 200mm | ||||||||
立柱上下动行程 | 250mm | 450mm | 650mm | 250mm | 450mm | 650mm | |||||
平台 | 尺寸 | 600×320mm | 1000×450mm | 600×320mm | 1000×450mm | ||||||
容许载重量 | 37kg | 28kg | 93kg | 84kg | 31kg | 22kg | 87kg | 78kg | |||
其它 | 设置尺寸 | 横 | 1250mm | 1650mm | 1250mm | 1650mm | |||||
深 | 800mm | 900mm | 800mm | 900mm | |||||||
高 | 1480mm | 1680mm | 1880mm | 1480mm | 1680mm | 1880mm | |||||
质量 | 225kg | 235kg | 420kg | 430kg | 230kg | 240kg | 425kg | 435kg | |||
电源、消耗电力 | AC100V±10％（要接地）﹑50/60Hz / 670VA | ||||||||||