仪器精度是有一定标准，如3+L/200，其表示整個(3+L/200)單位為?m、而L的單位為mm；通常影响仪器精度的是其软硬件质量所决定，硬件包括台面、立柱的花岗岩及導軌等零组件。如无牙螺丝，光栅尺，光源，CCD等质量的好坏。花岗岩的台面和立柱不易变形，无牙丝杆无间隙摩擦传动，高解析度光栅尺，高像素CCD及软件补偿，都会造成较高的仪器精度